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论文研究-P-FMEA improvement of CMP Micro-scratch.pdf下载

  • 更新：2024-09-26 23:31:08
  • 大小：636KB
  • 推荐：★★★★★
  • 来源：网友上传分享
  • 类别：其它 - 开发技术
  • 格式：PDF
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资源介绍

化学机械研磨中划伤的制程失效模式分析的改进，曹雄伟，，划伤是二氧化硅化学机械研磨中的一种主要的缺陷，比较严重的划伤会形成钨残留，从而导致金属间短路以至降低良率。至今为止，没有
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