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这个教程是很好的IC工艺知识问答
资源介绍
HF 酸(氢氟酸)对人体危害如何?
答:HF 会渗入皮肤组织,腐蚀骨头.
HF 酸(氢氟酸)对人体危害如何急救?
答:患部大量涂抹或注射葡萄糖钙。
接触到强酸或强碱应如何处理?
答:(1) 立即以大量清水冲洗至少 20分钟。(2) 视状况是否送医急救。
何谓 MTBF? (mean time between failure)
答:平均多少当机一次
何谓蚀刻(Etch)?
将形成在晶圆表面上的薄膜全部,或特定处所去除至必要厚度的制程。
蚀刻种类:
(1) 干蚀刻(2) 湿蚀刻
蚀刻对象依薄膜种类可分为:
poly,oxide, metal
半导体中一般金属导线材质为何?
鵭线(W)/铝线(Al)/铜线(Cu)
何谓 dielectric 蚀刻(介电质蚀刻)?
Oxide etch and nitride etch
半导体中一般介电质材质为何?
氧化硅/氮化硅
何谓湿式蚀刻
利用液相的酸液或溶剂;将不要的薄膜去除
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