几种提升AMR薄膜磁电阻传感器线性度的方法 (2006年)

在分析金属薄膜磁电阻传感器非线性产生原因的基础上，提出了几种设计AMR(各向异性磁电阻)薄膜磁电阻传感器时改善其线性度的方法，用直流磁控溅射方法制备了Ni80Fe20和Ni65Co35AMR薄膜材料；用微加工工艺制做出了几种AMR传感器元件，并给出了测试结果。